東京エレクロロン株式会社【TEL】製 塗布現像装置 CREAN TRACK ACT8の中古機です
75~200mmウェーハプロセス対応
大気中化学物質用のケミカルフィルターや革新的なケミカル供給システム、またPEBホットプレートの優れた温度均一性によって、化学増幅型レジストプロセスを可能にしています。また、搬送速度の高速化により、露光機に対応する高生産性を実現します。 最適化装置へのアクセスしやすさや、各ユニットの優れた信頼性により、卓越した稼動性能を実現します。
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