株式会社ニコン【NIKON】製 ステッパー NSR-S204Bの中古機です
主な仕様
解像度 150≦nm NA 0.68 露光光源 KrF excimer laser (248 nm wavelength) 縮小倍率 1:4 最大露光範囲 25×33mm 重ね合わせ精度（EGA,|M|+3σ）≦35 nm
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